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产品系列
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产品介绍
产品介绍
产品介绍：PF-300T Bianca 系列是拓荆自主研发的晶圆背部薄膜沉积设备（Backside Deposition）。可以在晶圆背面沉积SiN、SiO 等介质薄膜材料，通过应力调节实现对晶圆翘曲的纠正以及晶圆背面的保护。该设备可以实现在不使用翻片工艺、不使用去边工艺的情况下对晶圆背面进行薄膜沉积，减少集成电路制造的工艺步骤、提升产品良率、降低客户成本。
产品特点
- 可兼容低温和高温工艺，高温可达550℃
- 高应力调节范围实现精准晶圆翘曲曲率控制
- 具备应力分区调节功能，可灵活调节不同晶圆翘曲形态
- 具有良好的颗粒度和均匀性
- 薄膜去边宽度可定制化
- 通过S2安全认证和F47标准检验
